一、什么是掺杂?它究竟改变了什么?
理想的本征半导体(如纯净的Si或Ge)在室温下就像一片宁静的湖面,电子多数还在价带“沉睡”,只有少部分被热激发越过能隙跃入导带形成电子-空穴对。
而掺杂(Doping)就像在湖中投下了特定的“催化剂”:
掺五价元素(如磷、砷)进入硅晶格,会额外贡献一个“松散”的电子。这些电子非常容易被激发,形成所谓的n型半导体。
掺三价元素(如硼),则形成“电子缺”,吸引价带电子跃迁来“填补”,形成p型半导体。
掺杂的意义,不仅是引入额外的载流子,更是人为打破能带中的对称与能级分布:形成浅能级(shallow level)杂质态,其离导带/价带仅几十 meV,远小于本征激发所需的 eV 级能隙,从而极大地提高了载流子浓度。
二、温度:一个看不见的“开关”
掺杂的效果是否总是“在线”?答案是否定的,温度是关键。
活化能(Activation Energy)与载流子浓度的温度依赖性:
我们来回顾掺杂半导体中电子浓度的温度依赖表达式:
其中:
ND:施主浓度;
Ea:活化能,指施主态到导带底的能量差;
kB:玻尔兹曼常数;
T:温度;
这表示,杂质原子的离化程度随温度升高而增强。
三种典型温度区间的行为:
低温区(冻结区):温度太低,热能不足以激活杂质能级,施主电子仍被束缚在杂质态,未电离。自由电子浓度呈指数型下降,几乎无法导电;活化能主宰行为,为系统设下一个“阻力坡”。载流子浓度低,呈指数增长趋势。
中温区(饱和区):温度足以将大部分杂质激活,杂质电离完全,自由电子浓度稳定为掺杂浓度。此时系统呈“掺杂控制”状态,电导率趋于稳定。
高温区(本征区):温度足够高,即使是价带 → 导带的跃迁也开始显著。本征激发产生大量电子-空穴对,掺杂不再主导,系统“回归本征”。此时活化能 已被远远超越,行为由带隙控制;回到本征行为,电子和空穴浓度都迅速增加。
活化能的物理控制与材料设计影响
1️⃣ 杂质种类决定Ea:
• 浅杂质(如 P, B)→ 小 Ea → 易激活 → 适合室温器件;
• 深杂质(如某些缺陷、陷阱)→ 大 Ea → 仅在高温下导电 → 可用于温敏器件。
2️⃣ 材料本身的带隙影响相对深度:
• 在宽禁带材料(如 GaN, SiC)中,即使掺杂能级相同,Ea相对来说更深 → 更难激活 → 冻结效应更显著。
3️⃣ 高掺杂可能导致杂质带形成,打破活化能屏障
• 当杂质浓度极高,杂质能级相互重叠 → 形成“杂质带”;
• 杂质带可直接参与导电,无需热激发 → 活化能不再是屏障。
三、电阻率:掺杂浓度和温度如何共同调控?
电阻率的表达式如下:
其中:
q:电子电荷
μ:迁移率(Mobility)
n:载流子浓度
在半导体中,掺杂和温度通过以下两个路径影响电阻率:
(1)载流子浓度n:
随掺杂浓度增加,n增加,电阻率下降。
随温度升高,在冻结区时n增加,ρ下降;本征区时因载流子剧增,ρ也下降。
(2)迁移率μ:
迁移率受两种散射机制影响:
离子散射(Ionized impurity scattering):掺杂越高,越多离子杂质,越容易扰动载流子运动,μ下降。
声子散射(Phonon scattering):温度升高,晶格振动增强,载流子“走路”不稳,μ同样下降。
因此,电阻率曲线往往呈现一个非单调趋势——先下降(因为n增加),后上升(因为μ下降),最终在高温下再次下降(本征激发增强n)。
四、热电势与塞贝克效应:温度梯度下的电动力学
在半导体中,如果一端加热,会产生电压差,这是热电效应(Thermoelectric effect),其核心量为塞贝克系数(Seebeck coefficient, S):
热电势的形成可以从两个角度理解:
1. 载流子扩散(Diffusion):
高温端载流子获得能量,扩散向低温端,形成净电流。由于电子与空穴响应不同(一个负,一个正),n型和p型的Seebeck系数符号相反。
2. 能带弯曲与电场反馈:
温度差使得能带“倾斜”,电子和空穴朝能量较低的一端运动,形成内建电场,此时系统进入稳态:热驱动扩散电流与自洽电场驱动的漂移电流相抵消。
Seebeck系数本质上反映了载流子的能量分布对温度梯度的敏感度。而这又进一步受到掺杂浓度的影响:浓度越高,费米能级越接近导带或价带,能量分布的非对称性降低,S减小。
将以上机制以系统的视角串联起来:
变量 | 掺杂浓度增加 | 温度升高 |
载流子浓度 | ↑(中温) | ↑(低温和高温) |
迁移率μ | ↓(离子散射导致) | ↓(声子散射导致) |
电阻率ρ | ↓(低掺杂) → 稳定或↑(高掺杂) | 非单调:↓↑↓ |
热电势S | ↓(费米能级上移) | ↑或↓(依能级分布与散射机制) |
写在最后:
当你能从活化能的微小变化,预见到温度曲线背后的电阻波动;当你能从Seebeck系数的正负,判断出主导载流子的类型和能带结构——那么你就不仅是理解半导体,而是在“阅读”它。
“活着,就要留下点什么。
少一些功利主义的追求,多一些不为什么的坚持!”
节选自微信公众号 追求诗和远方的女博士
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